Perfluoroeter kavčuk (FFKM)je odličen tesnilni material. Zaradi svoje vrhunske zmogljivosti je našel široko uporabo v celotnem sistemu proizvodnje polprevodnikov. Eden od primarnih potrošnih materialov, potrebnih za proizvodnjo integriranih vezij, so tesnilni obročki iz perfluoroetra.
Glavna monomera v perfluoroeter kavčuku sta tetrafluoroetilen in perfluoroalkil vinil eter, ki sta kopolimerizirana z majhno količino tretjih monomerov z vulkanizacijskimi točkami. Je guma, ki sploh ne vsebuje CH vezi. Vsebnost fluora v njegovi molekularni strukturi, struktura in vsebnost perfluoriranega viniletra ter energija vezi in količina zamreženih vezi v procesu vulkanizacije vplivajo na delovanje vulkanizirane spojine in temperaturo posteklenitve. Zgradba in komponente so drugačne, prav tako njihova zmogljivost. Sledijo glavne značilnosti perfluoroeter kavčuka:
1) Fizikalne lastnosti: gostota je 1.9-2.0g/cm3, fizikalne in mehanske lastnosti so podobne fluorokavčuku, visokotemperaturno stiskanje pa je boljše od fluorokavčuka.
2) Kemična odpornost: Je kemično odporen.
3) Odpornost na visoke in nizke temperature: delovna temperatura je običajno 260290 stopinj, vendar se lahko občasno uporablja pri 316 stopinjah. Tg (temperatura posteklenitve) nekaterih perfluoroeterskih gum je -19 stopinj.
4) Odpornost na visokotemperaturno paro.
5) Nizka količina padavin in izpust.
6) Odpornost na plazmo.
Ima visoko čistost in nizke padavine v plazemskem okolju ter lahko dolgo časa vzdrži vpliv plazme.Zanesljivost elastomernih tesnil je ključnega pomena pri proizvodnji polprevodnikov, stroški zaustavitve proizvodnje zaradi zamenjave tesnil pa so izjemno visoki. Zahteve glede čistosti tesnil so izjemno stroge, da bi se izognili morebitnim tveganjem. Hkrati morajo biti tesnila sposobna delovati dlje časa pod pritiskom visokega vakuuma, jedkih kemičnih plinov in visokotemperaturnega okolja.
Surovine za perfluoroeter kavčuk so drage in se pogosto uporabljajo v proizvodnji polprevodnikov. Je odporen na plazemsko korozijo, plinsko korozijo, kislinsko in alkalno korozijo, visokotemperaturno korozijo, visoke zahteve glede čistoče za gumijasta tesnila, pomaga ohranjati celovitost tesnila, skrajša čas vzdrževanja in izboljša varnost ter je najboljše tesnilo za proizvodnjo polprevodnikov Material.