Polprevodniški vakuumski sistem je ena ključnih naprav za proizvodnjo polprevodniških naprav. Je zaprt sistem v zelo čistem okolju z nizkim tlakom za rokovanje in obdelavo polprevodniških materialov in naprav.
V polprevodniških vakuumskih sistemih se zaradi zahtev po visoki čistosti in nizkih stopnjah puščanja pogosto uporabljajo visokozmogljiva gumijasta tesnila. Tukaj je nekaj običajnih vrst gumijastih tesnil:
Tesnila iz vitona (FPM): Viton je fluoroelastomer, odporen na kemikalije in visoke temperature, ki se pogosto uporablja v vakuumskih sistemih. Ima odlično odpornost na visoke temperature, odpornost proti koroziji in nizko prepustnost plina, zaradi česar je primeren za tesnilne zahteve, ki prenesejo visok vakuum in visoka temperatura.
Tesnila iz nitrila (NBR): Nitril je sintetična guma za splošno uporabo z dobro odpornostjo na olje in obrabo. V polprevodniških vakuumskih sistemih se nitrilna tesnila večinoma uporabljajo v nekaterih aplikacijah, ki niso visoke temperature in niso korozivne, kot so nizek vakuum in plinovodne povezave.
Silikonsko tesnilo (VMQ): Silikon je silikonska guma, odporna na visoke temperature, z dobro elastičnostjo in toplotno odpornostjo. Pogosto se uporablja v polprevodniških vakuumskih sistemih, da prenese zahteve glede tesnjenja v visokotemperaturnih okoljih, kot so toplotna obdelava, žarjenje in visokotemperaturno čiščenje s paro.
EPDM tesnilo: EPDM je etilen propilen kavčuk z dobro odpornostjo na oksidacijo, kislino in alkalije. V polprevodniških vakuumskih sistemih se tesnila EPDM pogosto uporabljajo v aplikacijah, ki niso visoke temperature in niso korozivne, kot so nizek vakuum in cevovodi za prenos plina.
Ta gumijasta tesnila imajo različne lastnosti in področja uporabe. Pri izbiri ustreznega tesnila je treba upoštevati dejavnike, kot so delovni pogoji sistema, temperaturno območje, lastnosti medija in zahteve glede tlaka. Poleg tega mora postopek izdelave in namestitve tesnil upoštevati stroge procesne zahteve, da bi zagotovili učinkovitost tesnjenja.
V polprevodniških vakuumskih sistemih se za učinkovito tesnjenje poleg gumijastih tesnil pogosto uporabljajo tudi gumijasta tesnila. Tukaj je nekaj običajnih vrst gumijastih tesnil:
O-tesnilo: O-tesnilo je gumijasto tesnilo s krožnim prečnim prerezom in se pogosto uporablja v polprevodniških vakuumskih sistemih. Ima dobro tesnilno zmogljivost in sposobnost kompresijske deformacije ter se lahko prilagodi različnim tesnilnim zahtevam, kot so cevne povezave, ventili, spoji itd.
Ploščato tesnilo: Ploščato tesnilo je ravno gumijasto tesnilo, ki se običajno uporablja za prirobnične povezave v polprevodniških vakuumskih sistemih. Tesnjenje doseže s stikom s površino prirobnice in je običajno izdelano iz visokotemperaturnega kemično odpornega gumijastega materiala, kot sta Viton ali Silikon.
Tesnilo v obliki črke U: tesnilo v obliki črke U je gumijasto tesnilo s presekom v obliki črke U, primerno za posebne potrebe tesnjenja v polprevodniških vakuumskih sistemih. Pogosto se uporablja za tesnjenje batov, batnic, valjev in drugih komponent ter ima dobro tesnilno zmogljivost in odpornost proti deformacijam stiskanja.
Tesnilo v obliki črke V: tesnilo v obliki črke V je gumijasto tesnilo v prečnem prerezu v obliki črke V, ki se običajno uporablja za ventile in tesnila vrtljive gredi v polprevodniških vakuumskih sistemih. Doseže učinkovito tesnjenje s stikom s tesnilno površino in ima dobro tesnjenje in odpornost proti obrabi.
Izbira teh gumijastih tesnil je določena na podlagi posebnih zahtev glede tesnjenja, delovnih pogojev in lastnosti medija. Hkrati je zelo pomembna tudi izbira materiala tesnila. Običajno uporabljeni materiali vključujejo viton, nitril, silikon itd. Pri posebnem izboru je treba upoštevati dejavnike, kot so temperaturno območje, odpornost proti kemični koroziji in stopnja uhajanja plina. Pri nameščanju tesnila je treba paziti, da je tesnilna površina čista in zagotoviti, da je tesnilo pravilno nameščeno in stisnjeno, da se doseže dober učinek tesnjenja.
Priljubljena oznake: tesnila za polprevodniški vakuumski sistem, Kitajska tesnila za polprevodniški vakuumski sistem proizvajalci, dobavitelji, tovarna
